IV-CV半導(dǎo)體特性測試4200

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測試速度提高兩倍，助力探索創(chuàng)新

4200A-SCS 是一個模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開關(guān)模塊，可輕松地在 I-V 和 C-V 測量之間切換，而無需重新布線或抬起探針。4200A-SCS 是高性能的分析儀，可加快用于材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計、工藝開發(fā)或生產(chǎn)的復(fù)雜器件的測試。

功能及特點(diǎn)：

特點(diǎn)	優(yōu)勢
將源測量單元、C-V 單元和超快脈沖 I-V 單元無縫結(jié)合的一體化系統(tǒng)	快速、清晰和準(zhǔn)確地執(zhí)行 I-V 特性分析、交流阻抗測量、波形捕獲和瞬態(tài) I-V 測量
Clarius™ 基于 GUI 的軟件，支持觸摸或鼠標(biāo)控制	高級測試定義、參數(shù)分析、圖形繪制和自動化功能，實(shí)現(xiàn)清晰、卓越的測量和分析
內(nèi)置上下文相關(guān)的測量視頻和 450 多種應(yīng)用測試	快速啟動測試及提供測量幫助和故障排除向?qū)?/span>
I-V 源測量單元 (SMU)	±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模塊，100 fA 測量分辨率，以及帶可選前放的 0.1 fA 測量分辨率
C-V 多頻率電容單元 (CVU)	交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 頻率范圍
I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)	在 I-V 和 C-V 測量之間輕松切換或?qū)?C-V 測量移至任何終端，而無需重新布線或抬起探針
脈沖式 I-V 超快脈沖測量單元 (PMU)	兩個獨(dú)立或同步的高速脈沖式 I-V 源和測量通道；200 MSa/s，5 ns 采樣率；利用可選的前放將電流靈敏度擴(kuò)大到幾十皮安
高電壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU)	兩通道高速脈沖電壓源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA
可完全定制和升級	現(xiàn)在或以后均可根據(jù)需要隨時添加模塊